管状炉
発熱体 ： カンタル AF / A-1 / APM
最高温度 ： 発熱体 約1400℃（炉内最高 約1300℃）
用途 ： 半導体熱処理、工業用熱処理など
管状炉とは
管状炉はチューブ炉とも呼ばれ、その名の通り管（筒）状の電気炉で工業炉の中でも一角を担う存在です。炉内が筒状なので温度精度に優れ、均一加熱に適した電気炉でゾーン制御を行うことにより、精密な温度制御や温度勾配が可能な電気炉となります。弊社、小型精密管状炉に使用している小口径から半導体製造装置（拡散炉）や工業用に使用される大口径のものまで様々な管状炉を製作しています。また別の仕様として使い勝手の良い開閉可能な割型タイプの製作も行っております。
※ゾーン制御
炉内において部分的に温度を制御する事で温度精度を向上させる技術
管状炉の製作
弊社で製造された管状炉は主に半導体製造装置から工業・生産ライン・研究開発・温度校正（熱電対校正炉）に使われ国内外で稼働しています。昭和36年から（国内では最初に管状炉の生産を開始）現在に至るまで様々な大きさ形状の管状炉を製作しておりますので、独自のノウハウにより御要望に合わせた電気炉の製作が可能となっています。試料や温度、温度分布、均熱長、冷却方法に合わせた管状炉の製作も行なっております。
電気炉内部での温度勾配にも対応（※条件あり-詳細はお問い合わせ下さい）
（温度勾配例）
各種形状、発熱体に対応しています
弊社で製作できる管状炉の形状は小型の精密電気炉から大口径の大型電気炉用、横型炉はもちろん縦型炉、開閉可能な半割型などの他に様々な形状に対応しています。使用できる発熱体としてはカンタルだけではなくカンタルスーパー、フィブロタル、スーパータル、各種モールドヒーターを使用した管状炉の製作も行なっています。
